电容传感器分为哪三类
电容传感器主要分为以下三类：
1. 变极距型电容传感器：这类传感器以平行板电容器为例，上极板固定不动，下极板为动极板，当两极板距离变化时，电容相应变化。这类传感器的静态灵敏度较高，但非线性误差随着极距减小而增大，因此，此类电容传感器仅适用于较小位移的测量（0.01 μm～1 mm）。
2. 变面积型电容传感器：这类传感器以平行板电容器为例，当上极板移动时，两极板间的相对覆盖面积发生变化，从而引起电容的变化。这类传感器可以用于位移测量，根据应用要求，有平行板型极板、圆筒型极板和锯齿型极板等，具有较好的线性特性。
3. 变介质型电容传感器：这类传感器是在电容器两极板间插入不同介质导致电容变化，利用这种原理制作的传感器常被用来测量液体的液位（即电容式液位传感器）和材料的厚度等。
