集微网报道，4月25日，芯源微发布2023年第一季度报告称，公司一季度营收2.88亿元，同比增长56.89%；净利润6597.74万元，同比增长103.55%。
芯源微表示，公司营收增长主要系半导体设备行业景气度持续，公司收入规模持续增长所致，净利润增长主要系报告期内公司销售收入增加及嵌入式软件产品退税到账款增加所致。
资料显示，芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。